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卓立漢光半導體晶圓拉曼光譜測試系統(tǒng)
詳細信息| 詢價留言品牌：卓立漢光 型號：半導體晶圓 半導體晶圓拉曼光譜測試系統(tǒng)R1——應力、組分、載流子濃度
面向半導體晶圓檢測的拉曼光譜測試系統(tǒng)
主要功能：
•光穿過介質時被原子和分子散射的光發(fā)生頻率變化，該現(xiàn)象稱為拉曼散射。
•拉曼光譜的強度、頻移、線寬、特征峰數(shù)目以及退偏度與分子的振動能態(tài)、轉動能態(tài)、對稱性等緊密相關
•廣泛地應用于半導體材料的質量監(jiān)控、失效分析。
儀器架構：
性能參數(shù)：
拉曼激發(fā)和收集模塊
激光波長
532 nm
激光功率
100 mW
自動對焦
•在全掃描范圍自動聚焦和實時表面跟蹤
•對焦精度<0.2微米顯微鏡
•用于樣品定位和成像
•100x，半復消色差物鏡
•空間分辨率<2微米拉曼頻移范圍
80-9000 cm-1
樣品移動和掃描平臺
平移臺
•掃描范圍大于300x300mm。
•*小分辨率1微米。樣品臺
•8寸吸氣臺（12寸可定制）
•可兼容2、4、6、8寸晶圓片光譜儀和探測器
光譜儀
•320 mm焦長單色儀，接面陣探測器。
•分辨率<2.0 cm-1。軟件
控制軟件
•可選擇區(qū)域或指定點位自動進行逐點光譜采集
Mapping數(shù)據(jù)分析軟件
•可對光譜峰位、峰高和半高寬等進行擬合。
•可自動擬合并計算應力、晶化率、載流子濃度等信息，樣品數(shù)據(jù)庫可定制。
•將擬合結果以二維圖像方式顯示。
晶圓Mapping軟件界面
數(shù)據(jù)分析軟件界面
應力檢測—GaN晶圓片
利用拉曼光譜568 cm-1位置的特征峰位移動，可以檢測GaN晶圓表面應力分布。類似方法還可應用于表征Si/SiC/GaAs等多種半導體。
載流子濃度檢測——SiC晶圓片
組分檢測——結晶硅薄膜晶化率測試
結晶率指晶態(tài)硅與晶界占非晶態(tài)、晶態(tài)、晶界總和的質量百分比或體積百分比，是評價結晶硅薄膜晶化效果的一項重要指標。晶化率𝛸𝛸𝑐𝑐可通過擬合拉曼光譜分峰后定量計算。
多層復雜晶圓質量檢測——AlGaN/GaNHEMT
•氮化鎵高電子遷移率晶體管則憑借其良好的高頻特性在移動電話、衛(wèi)星電視和雷達中應用廣泛。
•晶圓片包含Si/AlGaN/GaN多層薄膜結構。
•拉曼光譜可給出多層結構的指紋峰，并對其應力、組分、載流子濃度等進行分析。
AlGaN/GaN晶圓，直徑6英寸
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