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 SPM600 系列半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是一款專用于半導(dǎo)體材料光電測試的系統(tǒng)。其功能全面，提供多種重要參數(shù)測試。系統(tǒng)集成高精度光譜掃描，光電流掃描以及光響應(yīng)速率測試。40μm 探測光斑，實現(xiàn)百微米級探測器的絕對光譜響應(yīng)度測量。超高穩(wěn)定性光源支持長時間的連續(xù)測試，豐富的光源選擇以及多層光學(xué)光路設(shè)計可擴展多路光源，例如超連續(xù)白光激光器，皮秒脈沖激光器，半導(dǎo)體激光器，鹵素?zé)�，氙燈等，滿足不同探測器測試功能的要求。是半導(dǎo)體微納器件研究的優(yōu)選。

功能：

■ 光譜響應(yīng)度
■ 單色光/變功率IV；
■ 不同輻照度IT曲線（分辨率200ms）
■ 不同偏壓下的IT曲線
■ LBIC，Mapping
■ 線性度測試
■ 響應(yīng)速率測試
■ 瞬態(tài)光電壓（載流 子遷移率）
■ 瞬態(tài)光電流（載流子擴散長度）

光源選項

卓立漢光根據(jù)樣品光譜相應(yīng)范圍選擇適合的光源，如EQ 光源，氙燈光源，氙燈溴鎢燈復(fù)合光源。

EQ光源

特點：

■ 光譜范圍寬：190-1700nm寬光譜范圍；
■ 光源本身發(fā)光點小，百微米級別；
■ 紫外波段亮度高；
■ 壽命長，理論壽命可達9000h；
■ 體積小，重量輕；散熱好；
氙燈光源

特點：

■ 光譜范圍寬：250-1700nm寬光譜范圍；
■ 光源本身發(fā)光點較小，mm級別；
■ 總功率大，亮度高；適合紫外-可見-近紅外光譜測試；
■ 燈泡更換簡單，成本低；
氙燈鹵素?zé)綦p光源

特點：

■ 光譜范圍：250-2500nm
■ 適合紫外、可見、近紅外，且可見、近紅外波段光譜平滑
■ 燈泡更換簡單，成本低。
數(shù)采選項


測試案例