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    非接觸式半導體參數(shù)測試儀SPM300

    產(chǎn)品型號: SPM300
      價格電議,您可以向供應商詢價得到該產(chǎn)品價格
    所 在 地: 北京通州區(qū)
    更新日期: 2025-06-04
    詳細信息
     加工定制:是  型號:SPM300  光源:否  
     波長范圍:否 nm 焦距:否 mm 外形尺寸:否 mm 
     重量:否 g 適用范圍:否  外形尺寸:否 mm 

    基于拉曼光譜法的半導體參數(shù)測試儀,具有非接觸、無損檢測、特異性高的優(yōu)點?梢詫Π雽w材料進行微區(qū)分析,空間分辨率< 800nm (典型值),也可以對樣品進行掃描從而對整個面進行均勻性分析。設(shè)備具有智能化的軟件,可對數(shù)據(jù)進行擬合計算,直接將載流子濃度、晶化率、應力大小或者分布等結(jié)果直觀的展現(xiàn)給用戶。系統(tǒng)穩(wěn)定,重復性好,可用于實驗室檢驗或者產(chǎn)線監(jiān)測。

    ① 光路接口盒:

    內(nèi)置常用激光器及激光片組,拓展激光器包含自由光及單模光纖輸入;

    ② 光路轉(zhuǎn)向控制:

    光路轉(zhuǎn)向控制可向下或向左,與原子力、低溫、探針臺等設(shè)備連用,可升級振鏡選項

    ③ 明視場相機:

    明視場相機代替目鏡

    ④ 顯微鏡:

    正置科研級金相顯微鏡,標配落射式明暗場照明,其它照明方式可升級

    ⑤ 電動位移臺:

    75mm*50mm 行程高精度電動載物臺,1μm 定位精度

    ⑥ 光纖共聚焦耦合:

    光纖共聚焦耦合為可選項,提高空間分辨率

    ⑦ CCD- 狹縫共聚焦耦合:

    標配CCD- 狹縫耦合方式,可使用光譜儀成像模式,高光通量

    ⑧ 光譜CCD:

    背照式深耗盡型光譜CCD相機, 200-1100nm 工作波段,峰值QE > 90%

    ⑨ 320mm 光譜儀:

    F/4.2高光通量影像校正光譜儀, 1*10-5 雜散光抑制比

    SPM300 半導體參數(shù)測試儀主要應用

    選型表

    型號

    描述

    SPM300-mini

    基礎(chǔ)款半導體參數(shù)分析儀,只含一路532nm 激光器,常規(guī)正置顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺

    SPM300-SMS532

    多功能型半導體參數(shù)分析儀,含532nm 激光器,常規(guī)正置顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺,

    可升級耦合*多4 路激光器

    SPM300-OM532

    開放式半導體參數(shù)測試儀,含532nm 激光器,定制開放式顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺,

    可升級耦合*多4 路激光器

    系統(tǒng)參數(shù)

    項目

    詳細技術(shù)規(guī)格

    光源

    標配532nm,100mW 激光器,其他激光可選,*多耦合4 路激光,可電動切換,功率可調(diào)節(jié)

    光譜儀

    320mm 焦距影像校正光譜儀,光譜范圍90-9000cm-1,

    光譜分辨率

    2cm-1

    空間分辨率

    <1μm

    樣品掃描范圍

    標配75mm*50mm,*大300mm*300mm

    顯微鏡

    正置顯微鏡,明場或者暗場觀察,帶10X,50X,100X 三顆物鏡;開放式顯微鏡可選

    載流子濃度分析

    測試范圍測試范圍1017 ~ 1020 cm-3,重復性誤差<5%

    應力測試

    可直觀給出應力屬性(拉力/ 張力),針對特種樣品,可直接計算應力大小,應力均勻性分析

    (需額外配置電動位移臺), 應力解析精度0.002cm-1

    晶化率測試

    可自動分峰,自動擬合,自動計算出晶化率,并且自動計算晶粒大小和應力大小

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